洁净室已发展成两种主要类型,它们的通风方式有所不同。这些是湍流通风的单向流动洁净室。通风不良的洁净室也被称为“非单向"室。单向流洁净室zui初被称为“层流"洁净室。单向类型的无尘室比湍流通风的类型使用更多的空气,并具有更高的清洁度。这两种无尘室如下。
通风不良的房间,通过空气接收干净的过滤空气,并扩散到天花板上。这些空气与室内空气混合,并通过墙体底部的抽气去除空气中的污染物。换气量通常等于或大于每小时20个,这比在普通房间(例如办公室)中使用的通风量大得多。在这种类型的无尘室中,人和机器产生的污染物会与送风混合并稀释,然后清除。
高效过滤器安装在整个天花板(或某些系统中的墙壁)上,并提供空气。空气以约0.4 m / s(80英尺/分钟)的速度单向扫过整个房间,并从地板排出,从而清除了房间内的空气污染。该系统使用的空气要比湍流通风的洁净室使用的空气更多,但是由于有方向性的空气流动,它可以zui大程度地减少污染物在房间周围的扩散,并通过地板将其清除。
湍流和单向通风洁净室均使用清洁空气设备,例如单向工作台或隔离器。这些机器将提供局部过滤空气,并在需要时改善空气条件,例如在产品容易受到污染的区域。